MICROSCÓPIO: O microscópio é um instrumento utilizado para ampliar e observar estruturas pequenas dificilmente visíveis ou invisíveis a olho nú. O microscópio é um dos instrumentos mais versáteis e utilizados no laboratório de semicondutores. Para tamanhos característicos menores que submicrons seu uso se torna inviável.
MICROSCÓPIO ÓPTICO
É um instrumento usado para ampliar e regular, com uma série de lentes multicoloridas e ultravioleta, capazes de enxergar através da luz estruturas pequenas e grandes, impossíveis de visualizar a olho nu, por isso também conhecido como microscópio de luz. É constituído por uma parte mecânica, que suporta e permite controlar e por uma parte óptica que amplia as imagens. Alternativas à microscopia óptica que não usam a luz visível incluem a microscopia eletrônica de varredura e microscopia eletrônica de transmissão. A utilização do microscópio óptico não se restringe apenas a análise de características dos circuitos integrados, é também usado para analisar partículas encontradas nos circuitos, e ainda freqüentemente usado para olhar e medir o tamanho, o tipo e a densidade de defeitos em circuitos semicondutores. Nas ciências, a microscopia óptica foi de suma importância, sendo aplicada na área da química (no estudo de cristais), física (na a investigação das propriedades físicas dos materiais), a geologia (na análise da composição mineralógica e textura de rochas) e, evidentemente, no campo da biologia (estudo das estruturas microscópicas