Automatización de un sistema para el depósito de películas delgadas
por evaporación utilizando instrumentación virtual

  1. Introducción
  2. Justificación
  3. Objetivos
  4. Caracterización del área en que se participó
  5. Alcances y limitaciones
  6. Símbolos
  7. Capítulo 1 Fundamentos Teóricos
  8. Capítulo 2 Arreglo Experimental
  9. Capítulo 3 Desarrollo del software de control
  10. Capítulo 4 Resultados y conclusiones
  11. Glosario
  12. Bibliografía
  13. Anexo

 

Introducción

Los materiales semiconductores en forma de película delgada son ampliamente usados en aplicaciones tecnológicas como dispositivos opto electrónicos y fotovoltaicos. Una de las técnicas para el crecimiento de estas películas es el transporte de vapor en espacio reducido combinado con evaporación libre (CSVT-FE por sus siglas en inglés).

En esta técnica, el control y monitoreo de la temperatura es crítica para el desarrollo del proceso de crecimiento del material, debido a que una variación significativa de la temperatura programada, ocasiona razones de evaporación diferentes a las deseadas. En el laboratorio de semiconductores ternarios del CICATA-IPN, Altamira se cuenta con esta técnica de crecimiento, en la cual el control se realizaba de forma manual, variando la perilla de las fuentes de
corriente, y el registro del comportamiento de la temperatura, se efectuaba a través de lectores de termopares digitales, con la dificultad de manipular durante un proceso de evaporación 3 fuentes de corriente al mismo tiempo.

En este trabajo se presenta la automatización, mediante instrumentación virtual, de la técnica de crecimiento CSVT-FE. El programa de cómputo desarrollado, permite monitorear y controlar la
temperatura de tres bloques construidos a base de grafito, haciendo variar la corriente que es suministrada a los bloques utilizando tres fuentes programables. Así mismo, permite ir almacenando en un archivo de texto el comportamiento de la temperatura del proceso para su posterior análisis.

 



 

José Alfredo Balderas Zapata
jabz45[arroba]hotmail.com

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